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校准全自动晶圆接触角测量仪需要哪些工具?

来源:技术文章    发布时间:2022-03-03    浏览:168次
  全自动晶圆接触角测量仪很长时间采用的校准工具是玻璃板。玻璃校准板与显微镜的分划板一样,采用刻蚀技术将标准角度的图片刻在玻璃板上,再通过测试标准角度值后,看接触角测量仪的精度。通过如上的描述可以很容易看出,如上的操作事实上没有对接触角测量仪本身进行任何调校或校准,只是测试了一下标准图片,看一下角度值差多少。
 
  全自动晶圆接触角测量仪作为一种专业的理化分析仪器,正如粘度计、分析天平等专业仪器一样,接触角测量仪事实上也需要进行专业的调校或校准操作。通常建议接触角测量仪1年校准一次。
 
  固体表面粗糙度、均匀性,极性、污染等;尽量保证测试样品表面平整、无污染数据处理方式有多种,基本是仪器或人为调整基线测量,这个会存在一定的误差。
 
  通过接触角测量仪的原理,即接触角测量仪通常采用侧视条件下拍摄3D条件下的液滴的轮廓并采用相应的算法分析得到接触角值。根据光学成像原理,可以知道,3D条件下,镜头相机、与被测物体水滴、在成像视角、俯视与否情况、样品本身的上表面水平情况均会影响到最终的角度值结果。
 
  接触角测量仪的校准包括:
 
  1、通过校准样品台的水平,校准接触角测量仪;
 
  2、通过校准镜头的水平,校准接触角测量仪;
 
  硬件方面,接触角测量仪的校准需要包括:
 
  1、3D红宝石工具;
 
  2、样品台微米级调整水平;
 
  3、镜头微米级水平调整。
 
  如果不能够提供如上整套工具缺一不可、,则该接触角测量仪是无法进行校准的,也根本无法保证该接触角测量仪的测值精度的。
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