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晶圆接触角测量仪是怎么工作的?

来源:www.afeschina.com    时间:2024-01-25     浏览:185次
  晶圆接触角测量仪是为晶圆表面加工质量检测而设计的光学接触角测试仪,提供晶圆表面接触角和表面能分析,以评估附着力、清洁度和涂层。
  晶圆接触角测量仪采用CCD数字摄像机,配倍高分辨率变焦式显微镜和高亮度LED背景光源系统,搭配三维样品台,可进行工作台上下、前后等方向移动。实现微量进样及上下、左右精密移动。同时还设计了伸缩杆结构工作台,能适应在不同用户材料厚度加大的场合。仪器框架可以根据式样的大小适量调节,扩大了仪器的使用范围。软件搭配修正功能,测试多次后的结果可以同时保存在同一报告下,能让用户更好的对材料数据进行管控。
  晶圆接触角测量仪用于测量液体对固体的浸润性,通过测量液体对固体的接触角,计算固体的表面自由能及液体的表面张力等指标,该仪器可自动测值和人工修整相结合,按测试→自动拍照→查找敏感点→计算接触角值→显示计算结果,整个过程无须人工干预,以降低人为因素影响。可广泛用于测试各种液体对各种固体材料的接触角,即通过测量液体与固体间所形成接触角的大小,判断液体对固体的浸润性;也可测量和计算表面/界面张力、CMC、液滴形状尺寸、表面自由能等。
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