全自动晶圆接触角测量仪在选购时可关注哪些方面？

在选购全自动晶圆接触角测量仪时可参考以下因素：

1、核心参数：

角度分辨率：优先选择±0.1°以内机型，高精度需求可选±0.01°。

重复性误差：同一样品多次测量标准偏差应小于±0.5°。

接触角范围：需覆盖0°~180°。

2、成像系统：

配备高速工业相机（如500万像素以上）与远心光学镜头，减少畸变。

帧率≥1000fps以支持动态过程捕捉。

3、功能扩展性：

光源系统：可选配可调亮度/色温光源与偏振光模式，消除反射干扰。

样品台：支持电动升降（行程≥50mm）、倾斜（±60°）及恒温加热。

自动化模块：电动XYZ三轴位移台实现多位置连续测量。

4、软件功能：

支持圆拟合法、椭圆拟合法及Young-Laplace方程拟合等算法。

集成表面自由能计算模块。

提供自动批处理、CSV/Excel数据导出及图像存档功能。